Matériaux cibles en titane

Matériaux cibles en titane

1. Qualité du matériau : GR1, GR2, GR5 (TA1, TA2, TC4)
2. Classification : matériau cible en titane pur et matériau cible en alliage de titane
3. Taille : cylindrique et tubulaire
4. Application : fabrication de semi-conducteurs, écran plat, revêtement décoratif et aspiration d'équipement sous vide
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Description
Paramètres techniques

Brève introduction

 

  • Les matériaux cibles en titane sont fabriqués à partir de titane ou d'alliages de titane de haute-pureté. La pureté de 99,9 % à 99,9999 %. Il s'agit d'un type de matériau très pur, produit par le processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), et est principalement utilisé dans la technologie de revêtement par pulvérisation cathodique.
  • Le titane lui-même est un métal de transition doté d'une excellente résistance à la chaleur et d'une excellente résistance, c'est pourquoi les matériaux cibles qui en sont issus fonctionnent bien dans des environnements à haute -température et haute-pression.
  • Ce type de matériau cible est principalement utilisé dans les domaines des semi-conducteurs, des revêtements optiques, des revêtements décoratifs, de l'anti-corrosion industrielle et dans d'autres domaines, et constitue l'un des matériaux de base clés dans la fabrication-haut de gamme.

 

 

Spécifications et propriétés des matériaux

 

  • Spécification de pureté :

99,9 % (3N) : Il est couramment utilisé dans des domaines tels que les revêtements décoratifs avec des exigences de pureté relativement faibles et les revêtements d'outils.

Supérieur ou égal à 99,99 % (4N) : il s'agit de la référence pour les applications dans des domaines tels que les nouvelles énergies (comme l'énergie solaire).

99,995 % (4N5) : La pureté typique des principaux matériaux cibles en titane utilisés dans les semi-conducteurs.

Supérieur ou égal à 99,999 % (5N) : principalement utilisé pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs haut de gamme.

Supérieur ou égal à 99,9999 % (6N) : Il est principalement utilisé dans la fabrication de circuits intégrés à très grande échelle (VLSI) d'une capacité de 16 mégabits ou plus, et il représente le niveau d'exigence le plus élevé.

  • Les formes et tailles des matériaux cibles en titane sont principalement divisées en deux catégories. Ils peuvent également être personnalisés en fonction des exigences du client pour répondre aux besoins de différents environnements d'application.

Matériau cible cylindrique

Diamètre commun : 60 mm, 65 mm, 95 mm, 100 mm (principalement utilisé pour la décoration et dans l'industrie de l'outillage)

Longueur commune : 30 mm, 32 mm, 40 mm, 45 mm

Spécifications communes pour le revêtement des plaquettes : Φ200 mm (plaquette de 8 pouces), Φ300 mm (plaquette de 12 pouces)

  • Matériau cible cylindrique (cible rotative)

Il s'agit du choix courant pour le revêtement-de grandes surfaces, largement utilisé dans les panneaux d'affichage et les champs photovoltaïques, avec un taux d'utilisation plus élevé. Les tailles sont diverses et doivent être personnalisées en fonction de la conception de la ligne de production.

  • Propriétés des matériaux

Basé sur les exigences d'un point de fusion élevé et d'une faible densité

Avec des exigences relativement élevées en matière d'uniformité et de contrôle des impuretés

 

Champs d'application

 

 Industrie des semi-conducteurs : les matériaux cibles en titane sont utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs pour déposer des films de titane, servant de couches conductrices ou de couches barrières, et sont largement appliqués dans les circuits intégrés et les dispositifs microélectroniques.

 Revêtement optique : les cibles en titane peuvent être utilisées pour produire des revêtements à haute réflectivité ou antireflet-, qui sont appliqués, entre autres, aux lentilles optiques, aux écrans d'affichage et aux panneaux solaires.

 Revêtement décoratif : les substrats en titane peuvent être recouverts de différentes couleurs grâce au processus de pulvérisation et sont largement utilisés dans les domaines des montres, des bijoux et de la décoration intérieure.

 Dispositifs médicaux : les matériaux en titane sont utilisés pour fabriquer des revêtements biocompatibles, qui sont appliqués sur des dispositifs médicaux tels que les articulations artificielles et les implants dentaires, afin d'améliorer leur durabilité et leur biocompatibilité.

 Aérospatiale : les matériaux en titane sont utilisés pour produire des revêtements résistants aux températures élevées et à la corrosion, et sont appliqués aux composants des moteurs d'avion et à la protection de surface des engins spatiaux.

 Secteur de l'énergie : les matériaux cibles en titane sont utilisés dans les batteries lithium-ion et les piles à combustible pour préparer les matériaux d'électrode, améliorant ainsi les performances et la durée de vie des batteries.

 

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Notre entreprise

 

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